ムサシノエンジニアリングの表面処理技術

弊社独自の表面処理技術の組み合わせにより、他社に比して1〜2桁低いガス放出率を達成。

ICFフランジ

Al合金製 超高真空用チャンパー

特長

• TOMI研磨処理（超高真空対応の特殊電解研磨）
• NiP処理（無電解ニッケルメッキ）
• 超高真空プリベーク処理

 

ガス放出速度測定法（スループット法）

q=C(P₁-P₂)/A
単位　Pa m³/sm²(×0.75×10^-3Torr l /s cm²)　（窒素換算圧）

ガス放出率の比較

ガス放出率（窒素換算圧）：Pa m³/sm²(×0.75×10^-3Torr l /s cm²)

材質	処理	室温排気10時間後	24時間ベーキング後	グラフ番号
無酸素銅 （C1020）	TOMI研磨	9×10-8	4×10-11
	TOMI研磨+プリベーク	2×10-8	3×10-12	(1)
ステンレス鋼 （SUS304）	TOMI研磨	9×10-8	9×10-10
	TOMI研磨+プリベーク	6×10-8	6×10-12	(2)
アルミニウム合金 （A5056）	EL加工	4×10-8	4×10-11
	NiP処理	2×10-7	2×10-10	(3)

真空対応受託加工

特長

• ガス放出率やリーク量といった真空装置メーカならではの保証をした加工が可能です。
• 部品１個から量産品のご注文にも柔軟に対応いたします。
• 精密加工も可能です。
• 特殊環境対応用の加工法や処理法もございます。お問い合わせください。

装置制作

真空装置は、お客様のニーズに合わせて製作いたします。
設計から据付工事までの一式工事はもちろん、チャンバーのみの製作や真空内ステージやマニピュレータのみの製作も可能です。
何なりとお問い合わせください。お客様の仕様をもとに１台ごとにお見積りいたします。

対応可能真空度	低真空〜10-10Pa
対応可能材質	アルミニウム合金、ステンレス、銅、チタン、他

部品加工

ご利用の環境に応じて、加工法や処理法をご提案し、真空用の部品やユニットを製作いたします。
全体図から単品図を作成し、各種ユニットを製作することも可能です。
部品1個から量産品まで、各条件に応じたお見積りをいたします。何なりとお問い合わせください。

対応可能真空度	低真空〜10-10Pa
対応可能材質	アルミニウム合金、ステンレス合金、銅、チタン、モリブデン、ニッケル、パーマロイ、他各種金属、アルミナ、ジルコニア、マシナブルセラミック、他各種セラミックス、PTFE、ポリイミド、ナイロン、他各種樹脂
対応可能表面処理	EX加工、EL加工、鏡面加工、TOMI研磨（電解研磨）、化学研磨、マルマイト、硬質アルマイト、Auメッキ、Agメッキ、他各種メッキ、CrN、TiC、TiN、他各種イオンプレーティングDLC、真空脱ガス処理、他

※上記内容以外にも対応いたします。何なりとお問い合わせください。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

真空脱ガス処理

特長

• 真空脱ガス処理は、チャンバーや部品・組立品を真空中で熱処理し、実際にご使用になるときのガス放出を抑えるための処理です。
• お客様の使用される環境（真空度）や材質によって、ベーク温度やベーク時間を選択できます。
• アルミニウム合金製ベーキングチャンバーを使用し、超高真空下で処理を行ないますので、処理後のサンプル面 は極めて清浄な状態を保つことが出来ます。
• 真空脱ガス処理と同時に部品や組立品のアニール処理（ひずみ取り）も行なえます。
• 処理後はN2ガス注入封止をし、清浄なままお客様のお手元へお届けいたします。

仕様【真空脱ガス処理炉】

チャンバー主材質	アルミニウム合金
加熱温度	MAX.700℃
温度分布	炉内設定温度に対して±2℃
到達真空度	2.6×10-7Pa
サンプル最大寸法	300×300×250（mm）

※ 真空脱ガス処理は、チャンバー内を清浄に保つ必要がある為、ご支給いただくサンプルそのままでは処理できない場合がございます。その際には、別途洗浄費用等のお見積りをいたします。
※ 上記専用チャンバー以外にも、真空脱ガス処理炉を用意してございます。何なりとお問い合わせください。

ウルトラＯリング　脱ガス済み ＩＣＦ用 Ｏリング ＆ センターリング付Ｏリング

特長

• 予め脱ガスしてあるので、超高真空用のOリングとして対応可能。（10^-8Pa台）
• ICFフランジ用として、スタンダード品をラインナップ。他にJISフランジやISOフランジにも対応可能。
• 包装はN₂ガスを注入封止してある為、そのまますぐ使用可能。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

真空用受託分析

特長

• 各種部品やユニットの真空特性を分析いたします。
• 部品１個の分析から量産品の分析まで対応いたします。
• 超高真空装置を得意とする弊社が保証する、実績と信頼のあるデータをお届けいたします。

• 詳細はこちらをご覧ください（PDF）

Heリーク試験

真ヘリウムガスを使用し、真空容器に対する一般的な漏れ試験を行ないます。

測定方法	吹き抜け法、フード法、スニッファ法
測定レンジ	10-12Pa・m3/sec台まで

ガス放出率測定

専用チャンバーにて、サンプルの単位面積当たりのガス放出速度を測定いたします。
真空内の到達真空度やガス量が問題となる場合のバックデータとしてご利用ください。
特別注文といたしまして、チャンバー本体等のガス放出率測定も行なえます。

測定方法	スループット法
バックグラウンド圧	10-8Paまで
測定可能サンプルサイズ	80×80×20（mm）まで（通常金額の場合）

分圧測定

専用チャンバーにて、サンプルからの放出ガスの成分分析を行ないます。
真空内にて特定のガス成分の放出が問題となる場合等のバックデータとしてご利用ください。
特別注文といたしまして、チャンバー本体等の分圧測定も行なえます。

測定機材	四重極型質量分析計
質量数範囲	1〜200AMU

その他､ ビルトアップ法によるガス放出率測定や､AES､SEM､TEM等の表面 分析も行なえます。何なりと、お問い合わせください。

※試験品及び報告書はご指定場所に納入いたしますが、梱包費・運送費を別途申し受ける場合もございます。