アルミニウム合金製 ＣｒＮ 表面処理 ＩＣＦフランジ
特長
- 150℃の低温ベーキング処理でステンレス鋼を上回る低いガス放出率10-11Pa・m3／sec・m2（10-13Torr・l／sec・cm2）が可能。
- 重量が非常に軽い。（ステンレス鋼の１／３）
- フランジのシール面は高硬度のＣｒＮ（イオンプレーティング）で保護されている。
- フランジ材はＡ２２１９を使用。（高硬度、耐熱合金）
アルミニウム合金製 ＮiP 表面処理 ＩＣＦフランジ
特長
- 材料は一般材料（A5052、A5056）を用い、処理もNiPなので非常に安価。
- ケミカルに強い。（耐腐食性強）
- 真空側のNiP膜をアルコール切削（EL加工）することにより従来のアルミチャンバーと同等のガス放出率が得られる。
銅合金製 ＩＣＦフランジ
特長
- 完全非磁性、熱伝導性良、低輻射率。
- ベーク無しでも10-8Pa（10-10Torr）の超高真空達成が可能。
- 100℃低温ベークで10-10Pa（10-12Torr）の極高真空達成が可能。
- 通常の無酸素銅でも10-11Pa･m3/sec･m2が可能。
- 表面処理はNiP処理を行い酸化及びシール面の保護を行っております。
CrN表面処理 ICFフランジタイプ6方管及びキューブ（アルミニウム合金）
特長
- 150℃の低温ベーキング処理でステンレス鋼を上回る低いガス放出率 10-11Pa･m3/sec･m2（10-13Torr･l/sec･cm2）が可能。
- 重量が非常に軽い（ステンレス鋼の1/3）。
- フランジのシール面は高硬度のCrN（イオンプレーティング）で保護されている。
- フランジ部材質はA2219を使用。（高硬度、耐熱合金）。
超高･極高真空用 ICFフランジタイプ6方管及びキューブ（銅合金製）
特長
- 完全非磁性、熱伝導性良、低輻射率。
- ベーク無しでも10-8Pa（10-10Torr）の超高真空達成が可能。
- 100℃低温ベークで10-10Pa（10-12Torr）の極高真空達成が可能。
- フランジ部材質はCrCuまたは、BeCuを使用。
- 表面処理はNiP処理を行い酸化及びシール面の保護を行っております。
ICFフランジ用 ガスケット（アルミニウム、銅合金、ステンレス用）
特長
- フランジ材質によりガスケット材を選択してください。
Al-ICFフランジ ⇒ Alガスケット SUS-ICFフランジ ⇒ Cuガスケット
AgコートCuガスケットCu-ICFフランジ - クリーンパッケージの為、使用時に開封してください。
Alフランジ取付用 ボルト・ナット・ワッシャ
特長
- アルミフランジの取付け用としてご使用ください。
- 完全非磁性。
- 軽量。
材質及び処理
| 材質 | ワーク最大寸法 | |
| ボルト | A2024 | 白アルマイト |
| ナット | A6061 | なし |
| ワッシャ | A2017 | 硬質アルマイト |
